等离子有什么作用?|等离子清洗机的原理、分类、特点及在电子行业的应用


发布时间:

2023-10-13

等离子的作用
清洗:去除材料表面物/颗粒/脏污去除材料表面物/颗粒/脏污去除材料表面物/颗粒/脏污贴力;
活化:将活性基团加入材料表面分子链中提高材料表面能,增加亲水性与活性;
改性:保持材料或制品原性能的前提下,赋予其表面新的性能,如亲水性、生物相容性等;
去胶:去除光刻胶、电路板去胶,除胶渣,提升材料表面的亲水性、附着力、粘接力;
涂覆:在材料的表面形成一层保护膜,给材料进行保护,可以改良具有不同涂层的工件;
蚀刻:ICP硅刻蚀、CCP介质刻蚀、金属刻蚀,实现各向异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性。

等离子清洁活化原理
等离子表面处理是通过对气体施加足够的能量使之离化成为等离子体。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、刻蚀等目的。等离子与材料表面可产生的反应主要有两种,一种是靠自由基来做化学反应,另一种则是靠等离子作物理反应。

等离子体的分类及特点
按照温度分类
①高温等离子体:温度可以从一两百度到上万度,等离子体射流本身温度高,而与固相接触碰撞后会让表面温度更高,这类等离子只适合处理陶瓷、金属等耐热材料。
②低温等离子体:一般采用低压(真空)的电场或高频高电压环境下的电晕放电来实现等离子体产生,温度可控制在接近常温。适合处理塑料、硅胶、芯片等不耐热材料。
激发频率分类
①超声等离子体:激发频率为40kHz,诱发处理表面的物理反应。
②射频等离子体:激发频率为13.56MHz,诱发处理表面的物理反应和化学反应。
③微波等离子体:激发频率为2.45GHz,诱发处理表面的化学反应。

等离子处理在电子行业的应用
电路板、FPC表面有涂层附着不佳的现象,等离子处理可表面清洁和活化,提升涂层附着力和均匀性;增加表面粗糙度,增加涂层附着面积;提高防腐蚀性。